AR-300 SERIES

该产品是对应2~12吋的大气晶圆传送机械手臂。

取晶圆方式客制化，边缘夹持、真空吸附等。

全系列为伺服马达驱动，重复位置精准度可达±0.1mm。

简单易操作的教导器，迅速故障排除与取放点位teaching。

规格分为：单ARM(不翻)、单ARM(可翻)及双ARM。

另有高负重、防水及一体式(内建控制器)等选项。