PGT2020

自动将 Ø300mm (12") 矽/玻璃晶圆逐片传送至载具1、载具2及之间的载物台。

使用的载具为 FOUP 和 FOSB 自动门。一般情况下，操作员仅需将载具放置在载物台上。

空气洁净度：ISO 333 级 (ISO-14644)，有Mapping sensor确认晶圆是否在槽内。