Tazmo
タツモ株式会社于1990年，成立半导体装置课，即现在的搬送事业部。
并于2008年成立越南分公司，以增加各部件的常备库存水位。
2015年开始PLP专用搬送手臂开发、制造及贩售。
Tazmo寻求高科技与人文主义的交集，并持续致力于技术创新。
其根源是建立繁荣幸福社会的挑战精神和想像。
独特的技术为精密加工和精细机电一体化领域的发展做出了贡献，在日本内外受到了高度评价，人们对Tazmo的期望也越来越高。
将继续追求尖端技术，同时继续致力于「科技为民」。
开发了各种搬送系统，不仅准确、快速，而且节省空间。
其中，晶圆传送机器人以其高吞吐量和高精度搬运、运行稳定和长期免维护运行而受到高度评价，并且还配备了满足用户要求的应用功能。
真空晶圆传送手臂
在真空环境中，以其卓越的洁净度、精准的传输能力和稳定的性能，成为您真空制程的最佳选择。
我们提供多种规格和配置的VTM真空传输模组，并可根据您的需求提供客制化解决方案，满足您不同的制程需求。
真空巡边机ALIGNER
晶圆寻边器（Wafer Aligner）也称为晶圆对准器或校正机，属于晶圆传送系统中的核心部件，可以高速而精准地完成中心定位与角度补正的工作，其保证精度为0.1。伯坚为广大半导体厂商推荐日本TAZMO，其品牌MAF-S与MAF-R系列之Aligner采用微接触的方式接触背面的方式，将晶圆的颗粒物污染控制在最小，适用于直径Φ2inch~Φ12inch晶圆及玻璃的机械钳方式校正机。全程只接触晶圆边缘，所以真正地实现了清洁定位的概念。且不需与robot连动，可以自行系统单独动作，实现高自由度搭配度。若您正在寻找适合的Aligner，欢迎联络我们！