TT301A-WA
厂 牌 : TAZMO
该产品是专为EFEM开发的一款低成本、高效能的晶圆传送机器手臂。。
这是Tazmo搬运机器手臂的旗舰型号，实现了高速反应和高清洁度。
符合 SEMI F47。
与先前的型号相比，通用零件和模组的比例有所提高，使价格更低。
独特的高速更换机构，使晶圆更换时间缩短50%。
采用新型控制系统，实现了高速、平稳运作。
与之前的型号相比，手臂占地面积减少了 15%，控制器体积减少了 50%。
无轨支撑 2FOUP。也提供Mapping sensor。
| 适用工件 | Φ100㎜～Φ300㎜ |
| SEMI/JEITA标准晶圆。 | |
| 操作范围 | R轴：430㎜(最大臂展) |
| T轴：370度(原点：±185度) | |
| Z轴：330㎜ | |
| 位置重复精准度 | X,Y方向：±0.1㎜ (3σ) |
| Z軸：±0.05㎜ (3σ) | |
| 晶圆夹持方式 | 背面真空吸附/摩擦式/边缘抓握/伯努利 |
| 晶圆夹持确认 | 具有数位显示的真空感测器。 |
| 连线方式： | RS232C,乙太网路。 |
| Utility： | 电源：单相AC200V～230V 7.5A 1系統 |
| 真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統 （Φ6 ×Φ4 快速接头） | |
| 重量 | 手臂：约35kg |
| 控制器：约10kg |