客制化EFEM
厂 牌 : TAZMO
EFEM（Equipment Front End Module）是半导体产业重要的自动化整合设备，能够满足客户对高产量与高Throughput的需求。
一体式EFEM晶圆传送设备是源自日本品牌TAZMO，而其Robot，Opener与Aligner皆属本公司产品(附带走行轴、斜取(snake motion)、水平changer，load port可以应客户要求做更灵活的LAYOUT，对应其他厂牌的LDP. – FOUP OPENER，例如：TDK，台湾平田等。
以本公司开发研制的处理器和传送装置为基准，按照要求能快速的设计和制造出专属于你的一款设备的服务。
灵活性 – ROBOT、OPENER、ALIGNER 全部为 TAZMO 自主产品，可根据客户需求灵活配置 LAYOUT。
高洁净度 – 采用自主制造的高洁净度单元，并配合最适当的 FFU 气流控制，实现高洁净环境。
高 Throughput – 采用 Lift Changer，可实现高速切换动作！
- 采用 SEMI 标准规范设计的 8 英寸与 12 英寸专用晶圆盒。
- 配置 2 组标准晶圆 Loadport。
- TAZMO 机械手臂（TT301A-WA）实现晶圆取/放控制功能。
- 晶圆巡边机 ALIGNER：用于检查晶圆对准定位及读取晶圆产品 ID 编号。
- 提供工艺配方参数及晶圆手臂搬送控制功能。
- 支持 TCP/IP 网络通信接口与 SECS/GEM 通信协议（可选）。
- 符合 CE 标记的设计标准。
- Robot、Aligner、Loadport 均使用 TAZMO 的 TT 系列产品，可符合 UL 及 SEMI（含 F47）规范。