客制化LOADPORT

Cassette or FOUP 与 Auto door-FOSB 均可搬送

高洁净度、高湿度控制、高通讯兼容性和多控制项，以实现更好的产品质量，符合并取得SEMI S2认证。

防止粒子渗透至FOUP中，且提供PC软体调机工具、标准通讯操作命令(ASCII)。

晶圆高效率检测技术(晶圆在席, 厚片/薄片, 交叉等)，协助设计各项需求, 能配合自订规格模组化。