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AR-300系列


该产品为专为晶圆设计的搬送机械手臂。


有单ARM及双ARM规格可做选择,另外单ARM有翻转规格可选配。

 


适用工件晶圆 ~300mm
轴:3或4轴
负重非翻转规格可搬3KG工件,翻转规格可搬500G工件。