MTE
厂 牌 : TAZMO
该产品是对应φ300mm的晶圆搬送机器手臂。
这是TAZMO搬送机械手臂的旗舰型号，实现了高速搬送、高洁净度。
支援无导轨的3FOUP。
交换机构实现晶圆的高速替换。
可搭配Mapping sensor。
R/T轴与Z轴采分离结构，因此维护更容易，且拥有更高的升降行程。
同时有另一型号，增加了ARM的刚性，且能对应φ450mm的型号。
| 适用工件 | Φ100㎜～Φ300㎜ |
| SEMI/JEITA标准晶圆。 | |
| 操作范围 | R轴：590㎜(最大臂展) |
| T轴： 350度（原点：±175度） | |
| W轴：360 度（原点：±180 度） | |
| Z轴：330㎜ | |
| P轴：180度。 | |
| 位置重复精准度 | X,Y方向：±0.1㎜ (3σ) |
| Z軸：±0.05㎜ (3σ) | |
| P軸：0.02㎜ (3σ) | |
| 晶圆夹持方式 | 背面真空吸附/摩擦式/边缘抓握/伯努利 |
| 晶圆夹持确认 | 具有数位显示的真空感测器。 |
| 连线方式： | RS232C、RS485。 |
| Utility： | 电源：单相AC208V 5A 1系统 ：单相AC100V 7.5A 1系统； |
| 真空：-80kPa以下1系统（Φ6 ×Φ4 快速接头） | |
| 重量 | 手臂：约50kg |
| 控制器(MCE) ：约 18公斤。 |