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NS-004S


该产品为大气环境用巡边机ALIGNER,与KAWASAKI川崎手臂适配。

 


判断对象Notch
最大速度1384 deg/sec
对位时间<3.6秒
位置重复精度±0.3度
晶圆夹持方式背面真空吸附 / 边缘夹持
重量6.3KG