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NTH系列


臂展较长,可在没有滑轨的场合,对应最多4FOUPs。

 


适用工件8英寸或12英寸标准晶圆

操作范围

(5轴)

θ1轴:±170度
Z轴:470mm
θ2轴:±170度
H1轴:±190度
H2轴:±190度
最大臂展1226.6mm
最小回转半径R500mm
对应FOUP数量最大4
位置重复精度±0.05mm
洁净等级Class 1
晶圆夹持方式背面真空吸附 / 边缘夹持