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P-EFEM


搭载高性能AC伺服电机,实现高速输送,负载能力充足。

机器手臂、装载口可以得到最佳定位。我们继承了20多年在恶劣环境下运作的机器人技术。

分为两、三站点两规格。


适用工件200mm/300mm±0.2mm,厚度775μm,晶圆;25层FOUP
Utility单相AC200V±10% 50/60Hz±5%,-80kPa 至 -90kPa