PWD2020

该产品是切片后的做晶圆自动剥离的设备。透过将矽锭安装到入口侧的板状夹具上，系统自动执行从粗清洗、矽片剥离、单片清洗、干燥、置入Cassette等工序。剥离完成后，板材夹具将晶圆移至出口侧。

采用热风加热方式，一次剥离一片。剥离后，晶圆逐一清洗。经过双流体高压冲洗、擦洗、冲洗、吸水干燥、狭缝喷嘴干燥等工序后，由水平关节机器人将每片晶圆置于出口区的Cassette中。您可以选择将晶圆存放在Cassette的顶部或底部槽位中（包含 25 槽）。储物盒最多可容纳六件个工件。提供 OHT 搬送服务。