大气晶圆传送机械手臂

该类产品专为EFEM设计，高速、精准且高洁净度的晶圆传送手臂，以低价且高性能取胜，可搭载自家或他厂LOAD PORT及上位系统，高相容性，且较小的旋转半径，能在更多不同条件的空间适用。