scroll down

TTJ系列


采用伸缩机构,技能实现低passline,又能实现高Z轴搬送。

 


适用工件8英寸或12英寸标准晶圆

操作范围

(5轴)

θ1轴:±170度
Z轴:740mm
θ2轴:±170度
H1轴:±190度
H2轴:±190度(选配)
最大臂展1067.2mm
最小回转半径R500mm
对应FOUP数量最大3
位置重复精度±0.05mm
洁净等级Class 1
晶圆夹持方式背面真空吸附 / 边缘夹持