NX系列
基於較緊湊的手臂設計，可在更節省空間的情況下架設。
有單ARM或雙ARM的選項。
| 适用工件 | 8英寸或12英寸标准晶圆 |
操作范围 (5轴) | θ1轴：+313~-323度 |
| Z轴：330mm | |
| θ2轴：+180~-150度 | |
| F轴：：±∞(选配) | |
| H1轴：±190度 | |
| H2轴：±190度(选配) | |
| 最大臂展 | 736mm |
| 最小回转半径 | R284mm |
| 对应FOUP数量 | 最大2 |
| 位置重复精度 | ±0.05mm |
| 洁净等级 | Class 1 |
| 晶圆夹持方式 | 背面真空吸附 / 边缘夹持 |
基於較緊湊的手臂設計，可在更節省空間的情況下架設。
有單ARM或雙ARM的選項。
| 适用工件 | 8英寸或12英寸标准晶圆 |
操作范围 (5轴) | θ1轴：+313~-323度 |
| Z轴：330mm | |
| θ2轴：+180~-150度 | |
| F轴：：±∞(选配) | |
| H1轴：±190度 | |
| H2轴：±190度(选配) | |
| 最大臂展 | 736mm |
| 最小回转半径 | R284mm |
| 对应FOUP数量 | 最大2 |
| 位置重复精度 | ±0.05mm |
| 洁净等级 | Class 1 |
| 晶圆夹持方式 | 背面真空吸附 / 边缘夹持 |