客制化STOCKER

半导体产业12吋晶圆载具(FOUP)临时储存与传送的搬送系统。

• 拥有快速输入/输出和储存的优点，缩短制程设备间运送的时间差。
• 具有高密度与数量的储存效能，极大程度降低微粒及污染的问题。
• 可依客户需求而客制扩展或缩小储存容量，能与现有设备进行集成设计安装。