PHT-R-4
单臂晶圆手臂，分为三轴及四轴规格，另有可搬玻璃基板规格。
本产品是用于无尘室的水平多关节机械手臂。
可进行前进/后退（X轴）、旋转（θ轴）、上/下（Z轴）和手动旋转（0-180°），对应大气晶圆输送，驱动电机为交流伺服电机。
| 操作范围 (3或4轴) | X轴：500mm |
| X轴：500mm | |
| θ轴：340度 | |
| 手部旋转：0~180度 | |
| 最大运行速度 | X轴：500mm/sec |
| Z轴：250mm/sec | |
| θ轴：200度/sec | |
| 手部旋转：180度/sec | |
| 位置重复精度 | ±0.1mm |
| 洁净等级 | Class 2 |
| 晶圆夹持方式 | 背面真空吸附 / 边缘夹持 / 摩擦式 |
| 连接方式 | RS232C |
| Utility： | 单相AC200~230V±10%，5A，低于-80kPa，10NL/min以上 |
| 重量 | 本体：47KG |
| 控制器：约8KG |