ET系列
厂 牌: TAZMO
该产品为专为PLP设计的双ARM机械手臂。
- 工作尺寸：支援最大650mm^2的基板。
- 最大移动距离：1500mm。
| 适用工件 | 方形基板 300mm~650mm |
| 轴 | R1轴/R2轴/T轴/Z轴/S轴 |
| 动作范围 | R：最大臂展760mm(到旋转中心) |
| Ｔ：±185度 | |
| Z：500mm | |
| S：880mm | |
| 动作速度 | R1、R2轴：1.5sec/1175mm |
| T：1.8sec/180度 | |
| Z：2.0sec/500mm | |
| S：1.5sec/880mm | |
| 重复位置精准度 | R1、R2轴：±0.1mm |
| T：±0.03度 | |
| Z：±0.1mm | |
| S：±0.25mm | |
| 驱动马达 | AC伺服马达 |
| 速度控制方式 | 特殊加减速编码控制 |
| 连线方式 | RS232C、Ethernet |
| Utility | 真空-80kPa以下 |
| （Φ6 ×Φ4 快速接头）2系统 | |
| 重量 | 手臂140KG |
| 滑轨150KG |