PWT2020

300mm晶圆被一片一片从A运送到B。

相容的载具有FOUP、FOSB、OPEN、PFA。

标准情况是以一片为单位进行运输，但也可以以五片或25片为单位进行运输。

晶圆可以在载具间批量运输或在指定插槽内安全地运输（可以在同一载体内运输）。

装载/卸载是透过将晶圆从盒中提起来进行的，最大限度地减少与盒子的接触并防止磨损、产生灰尘和晶圆边缘损坏。

Mapping sensor可侦测晶圆的错位、双重堆叠和其他装载错误。配有防止误操作的感应器和紧急按钮。以伺服马达驱动。