Kawasaki川崎在晶圆传送的半导体手臂市占率第一。
独特的驱动马达技术使产品拥有高精确性及迅速的制动能力。
一个单独的机械手臂，可以在没有滑轨的场合，对应２、３或4个FOUPs的EFEM。
适用于SEMI-F47及SEMI-S2标准。
可执行环形框架或基板的搬送。
