TL300A
廠 牌 : TAZMO
该产品是为EFEM设计，藉由FOUP或CASSETTE放置晶圆，以利手臂取放片。
- 以步进马达运作。
- 可支援φ200mm或φ300mm标准晶圆。
- 可选购Mapping功能。
| 适用工件 | φ200mm或φ300mm |
| SEMI/JEITA标准晶圆。 | |
| FOUP开盖方式 | 真空吸附 |
| 最大可承受真空值 | 10^(-6)Pa |
| 连线方式 | RS232C |
| Utility | 电源：DC24V±10% 5.5A |
| 干燥Air：φ6 mm，0.4 ～ 0.55 MPa，20 L/Min以上 | |
| 重量 | 本体约56kg |