晶圆传送设备EFEM

提供一体式EFEM晶圆传送设备，Robot、Opener与Aligner皆属本公司产品，并可根据客户需求灵活配置，对应其他厂牌的Loadport。

智能化的控制系统，确保设备稳定运行，降低维护成本。

客制化EFEM

厂　　牌 : TAZMO

EFEM（Equipment Front End Module）是半导体产业重要的自动化整合设备，能够满足客户对高产量与高Throughput的需求。
一体式EFEM晶圆传送设备是源自日本品牌TAZMO，而其Robot，Opener与Aligner皆属本公司产品(附带走行轴、斜取(snake motion)、水平changer，load port可以应客户要求做更灵活的LAYOUT，对应其他厂牌的LDP. – FOUP OPENER，例如：TDK，台湾平田等。