客制化SORTER

采用SEMI 标准规范设计8 吋与12 吋专用晶圆盒。

• 2 组标准晶圆Loadport。
• TAZMO-机器手臂(TT301A-WA) 晶圆取/放片功能控制
• 晶圆预对准器-用于检查晶圆对准定位和读取晶圆产品ID 编号。
• 提供制程配方参数与晶圆手臂拖放控制。
• 经可调整的排序功能，将晶圆按照顺序及交叉方式进行拖放作业。
• TCP/IP 网路通讯介面& SECS/GEM 通讯协定(另选)。