AR-V 系列

该产品是对应2~12吋的真空晶圆传送机械手臂。

全系列为伺服马达驱动，重复位置精准度可达±0.1mm。

简单易操作的教导器，迅速故障排除与取放点位teaching。

高精准度且高洁净度，符合高真空环境需求。

规格分为：单ARM及双ARM。

另有长行程(升降Z轴)、θ轴无限制旋转等选项。