允越科技针对所有代理产品,以及部分市面上常见产品,拥有维修保养技术,
具体如下:
机械手臂:
TAZMO、AITEC、川崎KAWASAKI、HYULIM/DST、安川YASKAWA、MECS/ASYST、PHT等。
(UTC-800系列、UTV-400 系列、UTV-2500 系列、UTC-100HG 系列、UTX-1000系列、UTW-300SP 、UTW-3000(P) 系列、UTX-F1000HG 系列、UTX-F2000HG 系列、UTX-F5000(P) 系列、UTX-F6000(P) 系列、OF-250专用控制器、OFH-100A专用控制器、UTC系列专用控制器、UTX系列专用控制器、CS7000系列专用控制器)
巡边机ALIGNER:
TAZMO、川崎KAWASAKI、SANMEI、MECS/ASYST等。
(OF-250非接触式、OFH-100非接触式OFH-3001 系列、OFH-4001 系列)
晶圆载具平台LOADPORT:
TAZMO、盛诠等。
晶圆传送设备EFEM、SORTER机:
TAZMO、PHT等。
太阳能光电测试仪器、非破坏性检测仪器(NIRS)、雷射焊锡机、光学检测设备及HPLC高效液层析仪等。